半導(dǎo)體在線式氣體過濾器
XL在線式氣體過濾器專門針對(duì)半導(dǎo)體氣體過濾而設(shè)計(jì)。過濾器采用2層PTFE濾膜,對(duì)干燥氣體的過濾精度達(dá)到0.003um。高純度全氟聚合物內(nèi)芯,提供了優(yōu)秀的化學(xué)兼容性,適合關(guān)鍵半導(dǎo)體工藝氣體應(yīng)用。推薦用于半導(dǎo)體制程惰性氣體、特殊氣體過濾。獨(dú)特的過濾器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),在更高的流量時(shí),仍具有較低的壓力損失。...
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